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      硅單晶晶片定向儀

      硅單晶晶片定向儀

      • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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      • 發布日期:2015/11/10
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      硅單晶晶片定向儀

      DX-7A硅單晶晶片定向儀(7AC7AS7AZ)

      功能:該儀器主要用于測定切割后的硅單晶晶片表面及參考面的角度,也可用于測定其它種類單晶材料的晶片。儀器配有吸氣泵??蓽y定直徑為 3-8 英寸的晶片,測定晶面為 100 、 110 、 111 、 210 等。該儀器為雙工作臺,可同時完成相同任務,也可分別測定晶片表面和參考面,根據用戶需要配置。

      技術參數:

      項目

      參     

      輸入電源

      單相交流220V,50Hz,0.3KW.

      Z大管電壓

      30kV

      管電流

      0-5mA連續可調

      接收器

      蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V

      X射線管

      銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

      測定角度

      2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

      綜合精度

      ±30″(用標準石英片10ī1面測量)

      Z小讀數

      1

      外形尺寸

      1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

      儀器重量

      300kg。

       


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