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            硅單晶錠粘結儀

            硅單晶錠粘結儀

            • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

            • 點擊次數:
            • 發布日期:2015/11/10
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            硅單晶錠粘結儀

            DX-7CF硅單晶錠復檢儀

            功能:此型儀器專門用于硅單晶錠定向、粘結后復檢。待測晶錠在我公司的DX-7C型X射線定向儀定向,在DX-7CZ型粘料儀上粘結后,Z終在本儀器上復檢,和多線切割機配套使用。

            特點:此儀器具有一個工作臺,工作臺上有托板和料板(工件板)的定位、夾緊裝置。晶錠與墊條(石墨/玻璃/樹脂)、料板粘結后一起裝在上述裝置定位夾緊,其端面在x射線照射下進行復檢,每個料板只可復檢兩塊晶錠。

            技術參數:

            項目

            參     

            輸入電源

            單相交流220V,50Hz,0.3KW.

            Z大管電壓

            30kV

            管電流

            0-5mA連續可調

            接收器

            蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V。

            X射線管

            銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

            外形尺寸

            1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

            儀器重量

            300kg。

            晶錠直徑

            5-8英寸

            晶錠Z大長度

            500mm

            測定晶面

            111向、100向

            定向精度

            ±30"(用標準石英片10ī1面測量)

            Z小讀數

            1"

            晶錠轉角(&)

            ±10°

            料板Z大長度

            500mm

            料板寬度

            70mm、100mm


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