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      硅單晶錠定向儀

      硅單晶錠定向儀

      • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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      • 發布日期:2015/11/10
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      硅單晶錠定向儀

      DX-7C硅單晶錠定向儀

      功能:此型儀器專門用于硅單晶錠的定向,和多線切割機配套使用,工作臺上有一對滾杠,晶錠放在滾杠上,其端面在x射線照射下定向。

      特點:此儀器晶錠尾端和進口編碼器偶合,細分步到0.001°,用于測定晶錠旋轉角度??蛇M行四方位(0°、90°、180°270°)和二方位(0°、90°)測量。該儀器有一套電腦控制裝置,包括輸入鍵盤、屏幕和打印機,選擇屏幕菜單、鍵入晶錠編號。所需數據,產品要求的切割偏角等。經計算、顯示、打印出晶錠編號,晶錠在料板(工件板)上粘結所必須的自身旋轉角?及擺角&等值。

      技術參數:

      項目

      參     數

      輸入電源

      單相交流220V,50Hz,0.3KW.

      Z大管電壓

      30kV

      管電流

      0-5mA連續可調

      接收器

      蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V。

      X射線管

      銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

      時間常數

      1(快)、2(慢)兩檔

      測定角度

      2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

      外形尺寸

      1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

      儀器重量

      300kg。

      晶錠直徑

      6-8英寸

      晶錠Z大長度

      500mm

      測定晶面

      111向、100向

      定向精度

      ±30"(用標準石英片10ī1面測量)

      Z小讀數

      1"

      晶錠轉角(?)

      ±90°±0.1°

       


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