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      半導體籽晶X射線定向儀

      半導體籽晶X射線定向儀

      • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

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      • 發布日期:2015/11/10
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      半導體籽晶X射線定向儀

      DX-7型半導體籽晶X射線定向儀

      功能:此型儀器主要用于硅單晶籽晶定向,也可用于其它半導體材料的籽晶定向。

      特點:此儀器為雙側工作臺,右側工作臺用于對擬加工成籽晶的硅單晶錠的端面定向,然后在內圓切割機上切成籽晶條;左側工作臺用于對上述籽晶條進行定向。

      技術參數:

      項目

      參     

      輸入電源

      單相交流220V,50Hz,0.3KW.

      Z大管電壓

      30kV

      管電流

      0-5mA連續可調

      接收器

      蓋革計數器,工作電壓Z高為DC1050V

      X射線管

      銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

      測定角度

      2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

      綜合精度

      ±30″(用標準石英片10ī1面測量)

      Z小讀數

      1

      被測晶體尺寸

      用于測定直徑為0.5-8英寸,≤30KG的硅單晶(錠)。

      外形尺寸

      1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

      儀器重量

      300kg。

       


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